壓電納米定位臺(tái)具有移動(dòng)面，是通過(guò)帶有柔性鉸鏈的機(jī)械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)500μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。

　　三維納米定位臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。納米定位臺(tái)的驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。1-3維運(yùn)動(dòng)，行程范圍最大可達(dá)1.1mm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應(yīng)變計(jì)傳感器實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有的可靠性。壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

　　三維納米定位臺(tái)產(chǎn)品屬于高精密儀器，對(duì)于安裝與使用有著非常嚴(yán)格的要求，以保證其長(zhǎng)期使用的可靠性與穩(wěn)定性。

　　此外，壓電納米定位臺(tái)還可用于：

　　光路調(diào)整；

　　納米操控技術(shù)；

　　納米光刻，生物科技；

　　激光干涉；

　　CCD圖像處理；

　　納米測(cè)量、顯微操作；

　　納米壓印、納米定位；

　　顯微成像，共焦顯微。