國產(chǎn)納米壓痕儀通過掃描材料表面實(shí)現(xiàn)對材料力學(xué)性能的納米尺度的高精度測量，精確給出硬度，彈性模量，楊氏模量等材料力學(xué)性能，并實(shí)現(xiàn)靜態(tài)壓痕測量和動態(tài)壓痕測量以及sclerometry測量，同時具備原子力顯微鏡和納米硬度測量儀的功能。
納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng)、移動線圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個部分。壓頭一般使用金剛石壓頭，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗(yàn)時，首先輸入初始參數(shù)，之后的檢測過程則*由微機(jī)自動控制，通過改變移動線圈系統(tǒng)中的電流，可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動作，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應(yīng)變儀來完成，同時應(yīng)變儀還將信號反饋到移動線圈系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗(yàn)。使用納米壓痕儀要滿足哪些要求：
1.樣品要求：上下表面平行拋光，直徑不超過30mm，高度不超過20mm，如果高度超過10mm，直徑需保證是30mm左右，如果直徑小于10mm，那么高度建議5mm以下，利于樣品測試過程中的穩(wěn)固；如果是鑲的樣品，加工成直徑31.5mm，要不然容易打偏；
2.特別注意：試樣厚度至少大于壓入深度h的10倍以上，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小于100nm數(shù)據(jù)可靠度不高；壓入深度一般2-3微米，深度再大沒有太大意義；對于表面比較粗糙的樣品，測試結(jié)果比較離散，建議測試點(diǎn)數(shù)不低于10個；樣品表面平整，不得有油污、顆粒物等污染物；提供樣品的泊松比。
