納米壓痕儀靈活易用、用戶友好的納米壓痕儀，用于模量、硬度（Oliver-Pharr模型、ISO14577標(biāo)準(zhǔn)）、存儲和損耗模量以及通用力學(xué)性能的測試。能夠施加高達(dá)1N的力，從而在更高的載荷和更大的深度下測試硬質(zhì)材料。配備可選的執(zhí)行器，用于軟材料、摩擦學(xué)、橫向力及其它需要在兩個維度獲得力和位移的測試。
納米壓痕儀主要適用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，測量結(jié)果通過載荷及壓入深度曲線計算得出，無需應(yīng)用顯微鏡觀測壓痕面積。可被用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。
納米壓痕儀主要功能：
1、實時試驗控制，簡便的測試協(xié)議開發(fā)和精確的熱補(bǔ)償；
2、屢獲殊榮的高速“快速測試”選項，用于測量硬度和模量；
3、多功能成像功能，測量掃描和流程化測試方法，幫助快速得到結(jié)果；
4、簡單快捷地確定壓頭面積函數(shù)和載荷框架剛度；
5、電磁驅(qū)動可實現(xiàn)高動態(tài)范圍下力和位移測量；
6、用于成像劃痕，高溫納米壓痕測量和動態(tài)測試的模塊化選項；
7、直觀的界面，用于快速測試設(shè)置；只需幾個鼠標(biāo)點擊即可更改測試參數(shù)；
納米壓痕儀系統(tǒng)的基板支架經(jīng)過優(yōu)化，可提供非常高的機(jī)械和溫度穩(wěn)定度。為了確保操作簡單方便，樣本下方的透明板包括一個內(nèi)置熱電偶。當(dāng)需要高精度時（如涉及厚聚合物樣品的納米壓痕應(yīng)用），用戶可以將熱電偶安裝到樣品表面。雙回路 PID 控制器的 NanoSuite 接口提供完整的 NanoSuite 軟件集成。
