考慮到
壓電納米定位系統(tǒng)將要運(yùn)行的環(huán)境條件,對(duì)于獲得既定應(yīng)用的所需結(jié)果非常重要。
這些條件包括:真空(HV,UHV等)磁場(chǎng)、溫度、濕氣、外部振動(dòng)等。
壓電納米位移臺(tái)可由各種材料制成,例如殷鋼,不銹鋼,鈦和鋁。每個(gè)都有優(yōu)點(diǎn);但是,將壓電平臺(tái)的材料與外部系統(tǒng)的材料進(jìn)行匹配以獲得最佳結(jié)果通常很重要。鋁是常用的材料,因?yàn)樗哂辛己玫拿芏?剛度比。這對(duì)于需要磁場(chǎng)的應(yīng)用也很好。Invar或SuperInvar之類(lèi)的材料具有較低的熱系數(shù),當(dāng)無(wú)法將溫度考慮因素隔離開(kāi)時(shí),它們可以提供穩(wěn)定性。不銹鋼可用于需要更高剛度以及很高溫度穩(wěn)定性的應(yīng)用中。當(dāng)強(qiáng)度,穩(wěn)定性和非磁性都非常重要時(shí),可以考慮使用鈦合金材料。
壓電納米位移臺(tái)可以在非磁性定位的環(huán)境中運(yùn)行。平臺(tái)的設(shè)計(jì)考慮了特定的應(yīng)用,并相應(yīng)地由材料制成??梢葬槍?duì)特定應(yīng)用設(shè)計(jì)壓電平臺(tái),選擇本體材料是該過(guò)程的重要組成部分。大多數(shù)平臺(tái)都可以在中低真空下運(yùn)行。
壓電平臺(tái)用于各種不同的環(huán)境。使用壓電平臺(tái)的設(shè)備中的振動(dòng)可能導(dǎo)致性能低于預(yù)期指標(biāo)。
外部的機(jī)械干擾,附近的設(shè)備以及聲音振動(dòng)都可能導(dǎo)致定位不準(zhǔn)確。為了獲得最佳結(jié)果,應(yīng)使用振動(dòng)隔離來(lái)幫助控制系統(tǒng)中的外部振動(dòng)。
在外部環(huán)境中工作時(shí),應(yīng)使壓電納米定位系統(tǒng)不受潮。溫度的大變化會(huì)導(dǎo)致設(shè)備移出壓電平臺(tái)的控制范圍。應(yīng)該對(duì)此類(lèi)環(huán)境系統(tǒng)進(jìn)行相應(yīng)規(guī)劃以獲得最佳結(jié)果。