納米壓痕儀是精確、靈活、易于使用的納米力學測試儀器。電磁驅(qū)動器具有很好的力和位移動態(tài)范圍,可以測量納米到毫米級的變形。應(yīng)用范圍包括:半導(dǎo)體、薄膜及MEM(晶圓應(yīng)用)、硬膜及DLC薄膜;復(fù)合材料,纖維,聚合物,金屬,陶瓷;生物材料與生物學。
①納米壓痕設(shè)定,幾種模式有何不同?
納米壓痕可分為靜態(tài)位移控制、靜載荷控制和連續(xù)剛度控制。
連續(xù)剛度只能設(shè)定位移,而不能設(shè)定載荷,可得到彈性模量、硬度隨位移變化值。系統(tǒng)設(shè)定的時間是固定的,一般只有幾秒鐘。
靜態(tài)位移控制模式,靜態(tài)負載控制模式,可設(shè)定至最大位移或最大載荷時,可設(shè)定較長時間,一般系統(tǒng)默認每點為15秒,也可設(shè)定較長,如30、40秒,但時間越長,收費越高;負載模式可控制保載時間,一般默認為10秒,如有特殊要求可適當增加時間或適當增加;位移模式不可;靜態(tài)模式不能得到彈性模量、硬度隨位移變化的變化,只能得到該點在該深度或載荷作用下的彈性模量及硬度值;
?、跒槭裁醇{米壓痕沒有100%卸載?
納米壓痕卸載一般在90%以上,如果用負載控制的測試方法,將卸載率設(shè)定為100%,那么就有可能出現(xiàn)熱漂移(卸載后的位移會出現(xiàn)負值);
?、蹓汉壑睆脚c深度之間的關(guān)系?
納米壓痕測試壓痕直徑與壓痕深度之間存在一定的轉(zhuǎn)換關(guān)系:一般用概值估算壓痕直徑=7.5×壓痕深度;
?、芗{米壓痕的壓痕位置無法從圖片中看出?
因為1)由于壓痕位置上的壓痕位置上的材料本身回彈,2)樣品表面顏色較深,不太干凈也會造成壓痕位置不清楚;
?、輭侯^材料?壓頭前端曲率?
金剛石材料,玻纖壓頭;新壓頭一般小于20納米但時間長了肯定會很大,可能是100納米;