壓電納米定位
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HF-5-10高負載平臺內(nèi)部采用楔形機械設(shè)計結(jié)構(gòu),外部配備額外的恒力彈簧,豎直方向利用閉環(huán)LS系列直線定位臺,更好的提高了穩(wěn)定載升能力的同時確保了定位分辨率。HFS系列與LS和RS系列定位臺可以自由組合。
MLS-1730系列多軸定位平臺產(chǎn)品由預(yù)堆疊的LS-1730系列納米馬達組成,即裝即用。所有產(chǎn)品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環(huán)境下使用。MLS-1730-4D所用定位臺為LS-1730,運動為21x21x21x21mm。
LS-24系列直線定位平臺相比LS-17系列的產(chǎn)品剛度更大,可在長行程范圍內(nèi)提供更高的運動精度。LS-2475的尺寸為75 x 24 x 12mm,行程范圍為49mm。
RS4010旋轉(zhuǎn)定位平臺均采用壓電粘滑驅(qū)動技術(shù)原理,RS系列旋轉(zhuǎn)臺與LS系列直線定位臺很容易進行組合成多功能系統(tǒng),RS系列有多種型號可以選擇,同時有開環(huán)、閉環(huán)不同選項以及超高真空等特殊環(huán)境版本。
高負載平臺內(nèi)部采用楔形機械設(shè)計結(jié)構(gòu),外部配備額外的恒力彈簧,豎直方向利用閉環(huán)LS系列直線定位臺,更好的提高了穩(wěn)定載升能力的同時確保了定位分辨率。HFS系列與LS和RS系列定位臺可以自由組合。
MLS-1740系列多軸定位平臺產(chǎn)品由預(yù)堆疊的LS-1740系列納米馬達組成,即裝即用。所有產(chǎn)品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環(huán)境下使用。MLS-1740-2D所用定位臺為LS-1740,運動為26x26mm。
LS-24系列直線定位平臺相比LS-17系列的產(chǎn)品剛度更大,可在長行程范圍內(nèi)提供更高的運動精度。LS-2490的尺寸為90 x 24 x 12mm,行程范圍為63mm。